辽宁扩散泵抽气系统的维护

辽宁扩散泵抽气体系的前级泵可用罗茨泵-旋片泵组合，罗茨泵-滑阀泵组合，单独用旋片泵或罗茨泵等几种形式。油扩散泵抽气体系结构简单，操作方便，寿命长，价格便宜，是目前运用范围广的一种真空获得设备。

辽宁扩散泵抽气体系能够适当地配备一些传感器，当万一呈现操作失误或体系有漏孔、冷却不善及扩散泵泵液不足时，这些传感器可宣布信号将体系关掉或使体系处于状况。真空体系中的气动阀和电磁阀应能在设备产生故障时立即动作，使体系处于状况下。在压缩空气或电源产生故障时，要封闭除粗抽泵的放气阀以外的阀门。粗抽泵放气阀则应翻开，以防止机械泵油返流进入粗抽管道。在扩散泵冷却水管的出口（而不是进口）处可装量计。借助于流量计的信号，体系控制器就可堵截扩散泵的电源，并封闭高真空阀和前级管道阀。在扩散泵冷却水管的进口处采用一个水过滤器以防积垢阻塞水管，并可免除过早的检修。可用装在扩散泵泵壳外面的恒温开关和装在锅炉上的热敏开关来检测泵壁和泵油的工作温度，还能够对泵工作液的液面进行监测。热偶规或皮拉尼规控制器上的设定值是在真空室呈现漏孔时给出主动控制器信号的，以便由它来封闭高真空阀，并在前级呈现过高的前级压力时断开扩散泵电源。许多液氮装置装有低液面报警的传感器，当致冷剂耗尽时封闭高真空阀门。

因为辽宁扩散泵没有工作部件，故维修较简单。一般泵运用500h后应当换一次新油。换油时则一起进行维修，维修也就是完全清洗泵芯，泵体，清除油锅上的结垢，用压缩空气吹去冷却水管中的锈。加热器如果是一般的裸式电炉，则用500h后就要替换一次，如果是封闭式加热器则寿命可大大延伸，不用定时替换直到用坏再换。

辽宁扩散泵一般采用KSl～KS3号扩散泵油，正常运用约半年换一次油。为降低返油率可采用274～275号硅油，正常工况下，约运用2～3年换一次油。扩散泵安装与调整正确与否，会直接影响泵的功能。泵安装前各零件要清洗好并保持清洁。安装前零件有必要完全烘干，安装时不该用手直接摸泵芯，泵芯安装有必要正确，不得向任何一边偏斜，安装后要测量喷嘴与泵壁之间的间距。加油时要事先在外边测量好油量，不要边倒边看深度，以保证油量符合规定。

安装好要测量辽宁扩散泵的极限真空度是否到达泵原目标，测量方法按有关标准进行，到达泵原真空度目标时才能交付运用。