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辽宁扩散泵的原理

2021-09-24  来自: 沈阳华中联真空设备有限公司 浏览次数:101

在过去的40年里,扩散泵是真空取得设备中开展和研究比较多的产品。本文旨在概述扩散泵在国内开展的进程、现状和远景。期望对国内辽宁扩散泵产品的持续开展起到推进作用。

辽宁扩散泵

辽宁扩散泵的原理

扩散泵是利用从伞形喷嘴喷出的高速作业介质蒸汽射流,带着扩散到蒸汽射流里的被抽气体,然后完成抽真空的一种真空泵

辽宁扩散泵的作业原理是:由电加热器(电炉)将装在泵腔(油锅)内的液态作业介质加热,使其变成蒸汽;蒸汽经过安装在泵腔里的泵芯喷嘴高速喷出,构成低密度、高速度的蒸汽射流;被抽气体经过扩散进入蒸汽射流中,被下一级蒸汽射流带走,最后由前级泵排出,而作业蒸汽抵达水冷的泵壁,冷凝成为液态沿着泵壁流回油锅。在油锅里重新被加热变成油蒸汽。这样周而复始的作业,构成了扩散泵的正常抽气进程。

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