【辽宁扩散泵专题】提高泵的抽速性能：研究、制造、应用单位的共同希望

  过去的40年里，扩散泵是真空获得设备中发展和探讨比较多的产品。这篇文章目的在于简述辽宁扩散泵在国內发展的历程、现状和前景。希望对国內扩散泵产品的持续发展具有推动作用。

  一，辽宁扩散泵的原理

  扩散泵是运用从伞形喷嘴喷出的高速工作介质蒸汽射流，携带扩散到蒸汽射流里的被抽气体，进而实现抽真空的一种真空泵。

  扩散泵的工作原理是：由电加热器（电炉）将装在泵腔（油锅）内的液态工作介质加热，使其变为蒸汽；蒸汽利用组装在泵腔里的泵芯喷嘴高速喷出，形成低密度、高速度的蒸汽射流；被抽气体利用扩散进入蒸汽射流中，被下一级蒸汽射流带走，最后由前级泵排出，而工作蒸汽到达水冷的泵壁，冷凝成为液态沿着泵壁流回油锅。在油锅里重新被加热变为油蒸汽。这样周而复始的工作，形成了扩散泵的正常抽气过程。

  二，辽宁扩散泵的优缺点

  扩散泵的优点有：构造简易、无运动件、噪声较小、方便使用、维护保养简单、在高真空段有较大抽速，单位抽速所需制造成本较低等，因而，其应用面很广。

  扩散泵的关键缺点是：返油、耗能高、热效低。提升加热效率、减少耗能、减少返油率是数年扩散泵须要解决而迄今并未解决的关键问題。

  三，辽宁扩散泵的产学研用

  多年来，国內探讨、设计、制造、应用扩散泵的单位和个人很多。

  扩散泵的探讨工作关键聚集在：理论研究、构造探讨、性能探讨、测试标准探讨等领域。

  扩散泵的设计工作主要是：提高扩散泵的抽气性能、减少成本费用、提升热效、节约资源。

  扩散泵制造追求的是：工艺简易、省时省料、减少成本费用、提升可靠性。

  扩散泵的应用关键聚集在：真空镀膜设备、真空冶金设备、真空热处理设备、电子产品排气设备等，在高真空大抽速的需求场合扩散泵是不可替代的产品。

  客户希望扩散泵性能优良、运作稳定、质优价廉、操作方法简易、检修便捷。

  四，辽宁扩散泵共同希望：提升抽气性能

  理论研究、设计制造、应用单位共同希望的是：提升扩散泵的抽气性能。关键包括有：极限真空度、抽气速率、较大出口压力、返油率。提升抽气性能关键探讨泵的抽气理论、泵芯构造尺寸、泵体形状、工作介质、加热、冷却方式、温度等。

  减少成本费用关键考虑：泵的构造、材料、加工工艺。

  提升热效、节约资源主要是解决加热、冷却、防止热损失措施等。

  现阶段，辽宁扩散泵已经形成标准化、系列化。依据扩散泵进气口直径，从K-80到K-1200分成16种规格，对于所能达到的性能得出了具体指标。另外得出了实现这种性能参数的测试标准。